Anneau en céramique d'yttria (Y₂O₃) | Anneaux en céramique haute pureté résistants au plasma pour équipements de semi-conducteurs
Bagues en céramique d'yttria de haute pureté (Y₂O₃) avec une excellente résistance au plasma et à la corrosion. Idéal pour les chambres de semi-conducteurs et les applications de gravure.
bague en céramique d'yttria
Anneau en céramique Y2O3
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Composants en yttria pour semi-conducteurs
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Aperçu du produit
Les anneaux en céramique d'yttria (Y₂O₃) sont des composants avancés conçus pour les environnements plasma des semi-conducteurs, en particulier dans les systèmes de gravure et de dépôt. Grâce à une résistance exceptionnelle au plasma, une pureté ultra-élevée et une excellente résistance à la corrosion, les anneaux en céramique d'yttria réduisent considérablement la contamination et prolongent la durée de vie des composants dans des conditions de traitement agressives.
Caractéristiques principales
1. Résistance au plasma supérieure
Résistance exceptionnelle au plasma à base de fluor, réduisant l'érosion et la génération de particules.
2. Ultra-haute pureté
Minimise la contamination dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
3. Excellente résistance à la corrosion
Fonctionne de manière fiable dans des environnements chimiquement agressifs.
4. Stabilité à haute température
Maintient l'intégrité structurelle dans des conditions de traitement à haute température.
5. Faible génération de particules
Assure la compatibilité avec les salles blanches et un rendement élevé.
Applications
Équipement de gravure de semi-conducteurs
Chambres de traitement plasma
Systèmes de dépôt CVD / PVD
Équipement de fabrication de plaquettes
Environnements de salle blanche haute pureté
Avantages techniques
Durée de vie prolongée dans les environnements plasma
Maintenance et temps d'arrêt réduits
Stabilité de processus et rendement améliorés
Risque de contamination plus faible par rapport aux céramiques conventionnelles
Options de personnalisation
Diamètres extérieur et intérieur
Épaisseur et profil de l'anneau
Finition de surface et polissage
Intégration avec les ensembles de chambre
Production OEM basée sur des dessins
Titre localisé (US)
Bagues en céramique d'yttria pour applications plasma de semi-conducteurs | Fournisseur de composants Y₂O₃ de haute pureté aux États-Unis
Extrait de contenu localisé
Nous fournissons des bagues en céramique d'yttria de haute pureté à travers les États-Unis pour les équipements de traitement plasma de semi-conducteurs. Nos composants Y₂O₃ offrent une résistance plasma supérieure, une faible contamination et une longue durée de vie.
Personnalisation OEM et support d'ingénierie disponibles.
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