Ile wiesz o precyzyjnych komponentach ceramicznych?
Precyzyjne komponenty ceramiczne odnoszą się głównie do precyzyjnych, złożonych strukturalnie części ceramicznych stosowanych w sprzęcie półprzewodnikowym. Te precyzyjne komponenty ceramiczne są kluczowymi częściami sprzętu półprzewodnikowego, a ich badania i rozwój oraz produkcja bezpośrednio wpływają na rozwój przemysłu półprzewodnikowego. W ostatnich latach, w związku z dostosowaniami polityki krajowej, przemysł półprzewodnikowy rozwijał się dynamicznie, a jego skala znacznie wzrosła. W miarę jak sprzęt do produkcji półprzewodników ewoluuje w kierunku większej precyzji i złożoności, rosną również wymagania techniczne dotyczące precyzyjnych ceramicznych kluczowych komponentów. Ze względu na zalety ceramiki – wysoką twardość, wysoki moduł sprężystości, wysoką odporność na zużycie, wysoką izolacyjność, odporność na korozję i niską rozszerzalność cieplną – mogą być one stosowane jako komponenty w polerkach do płytek, sprzęcie do obróbki cieplnej epitaksjalnej/utleniania/dyfuzji, maszynach litograficznych, sprzęcie do osadzania, sprzęcie do trawienia półprzewodników i implantatorach jonów. Ceramika półprzewodnikowa obejmuje tlenek glinu, azotek krzemu, azotek aluminium i węglik krzemu. W sprzęcie półprzewodnikowym precyzyjna ceramika stanowi około 16% całkowitej wartości.
(Źródło obrazu: pexels)
I. Najpopularniejsze precyzyjne materiały ceramiczne
1. Ceramika tlenkowa
Rozumie się, że w sprzęcie półprzewodnikowym stosuje się dużą liczbę precyzyjnych elementów ceramicznych tlenkowych. Na przykład wysokiej czystości powłoki Al₂O₃ lub ceramika Al₂O₃ są stosowane jako materiały ochronne dla komór trawienia i elementów wewnętrznych. Oprócz komór, dysze gazowe, płyty dystrybucji gazu i pierścienie dociskowe do mocowania płytek w sprzęcie plazmowym również wymagają ceramiki aluminiowej. W procesach polerowania płytek ceramika aluminiowa jest szeroko stosowana w płytach polerskich, platformach do kondycjonowania podkładek polerskich i uchwytach próżniowych.
(Płyta polerska z tlenku glinu, źródło: Kyocera, Japonia)
Ponadto, jak wspomnieliśmy powyżej, ceramika cyrkonowa jest głównym materiałem do produkcji kapilar klejących, które są niezbędnymi narzędziami w procesach klejenia drutem.
2. Ceramika z węgliku krzemu
Materiały z węglika krzemu mają niezwykle wysoki moduł sprężystości, przewodność cieplną i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej. Nie są podatne na deformacje naprężeń zginających ani odkształcenia termiczne i mają doskonałą polerowalność, co pozwala na obróbkę ich na doskonałe powierzchnie lustrzane. Dlatego też stosowanie węglika krzemu jako materiału do precyzyjnych elementów konstrukcyjnych w kluczowym sprzęcie półprzewodnikowym, takim jak maszyny litograficzne, oferuje znaczące korzyści.
(Zespół stołu precyzyjnego z węglika krzemu)
3. Ceramika z azotku krzemu
Jako związek kowalencyjny, azotek krzemu charakteryzuje się niskim współczynnikiem rozszerzalności cieplnej, wysoką przewodnością cieplną, doskonałą odpornością na korozję chemiczną i wyjątkową odpornością na szok termiczny. Spiekany na gorąco Si₃N₄ ma niezwykle wysoką twardość i doskonałą odporność na wysokie temperatury. Jego wytrzymałość pozostaje niezmieniona w wysokich temperaturach do 1200°C i nie topi się podczas ogrzewania, rozkładając się dopiero w temperaturze 1900°C. Dlatego ceramika azotku krzemu jest uważana za "materiał ceramiczny o najlepszych ogólnych właściwościach" i jest wykorzystywana do produkcji platform, prowadnic, łożysk i innych elementów w sprzęcie półprzewodnikowym.
4. Ceramika z azotku aluminium
(Źródło obrazu: Haituo Innovation)
Obecne uchwyty elektrostatyczne wykorzystują głównie ceramikę tlenku glinu jako główny materiał. Jednak przewodność cieplna i powiązane właściwości mechaniczne tlenku glinu są gorsze od właściwości ceramiki z azotku aluminium. Dlatego też, stosowanie ceramiki z azotku aluminium zamiast ceramiki tlenku glinu jako materiału produkcyjnego do uchwytów elektrostatycznych jest przyszłym trendem.
II. Jakie rodzaje precyzyjnych komponentów można wykonać z ceramiki?
W zaawansowanych litograficznych maszynach, aby osiągnąć wysoką precyzję przetwarzania, konieczne jest szerokie zastosowanie komponentów ceramicznych o dobrych właściwościach kompozytowych, stabilności strukturalnej, stabilności termicznej i dokładności wymiarowej. Obejmują one uchwyty elektrostatyczne (E-chucks), uchwyty próżniowe, bloki, płyty chłodzone wodą do ram ze stali magnetycznej, reflektory i prowadnice. Te kluczowe komponenty są zazwyczaj wykonane z materiałów ceramicznych.
(Rama chłodzona wodą dla silnika skanującego)
(Prostokątne lustro do maszyny litograficznej)
W sprzęcie do trawienia, elementy wykonane z materiałów ceramicznych obejmują głównie okienka, płyty dystrybucji gazu, dysze, pierścienie izolacyjne, płyty osłonowe, pierścienie ogniskujące i elektrostatyczne uchwyty. Wraz ze zmniejszaniem się rozmiarów cech chipów i stopniowym wzrostem energii plazmy opartej na halogenach, odporność komór trawienia plazmowego i wewnętrznych komponentów na trawienie plazmowe staje się coraz ważniejsza. W porównaniu do materiałów organicznych i metalowych, materiały ceramiczne generalnie charakteryzują się lepszą odpornością na korozję fizyczną i chemiczną oraz mogą pracować w wyższych temperaturach. Dlatego w przemyśle półprzewodnikowym różne materiały ceramiczne stały się preferowanym materiałem do produkcji kluczowych komponentów w sprzęcie do produkcji pojedynczych kryształów krzemowych oraz do etapów przetwarzania front-end.
(Źródło obrazu: Kyocera, Japonia)
(Pierścień z węgliku krzemu wyprodukowany przez Maruwa, Japonia)
(Uchwyt elektrostatyczny, źródło obrazu: Haituo Innovation)
Innym przykładem jest ceramiczna końcówka do spawania drutu, niezbędne narzędzie w procesie spawania drutu. Głównym składnikiem ceramicznych końcówek do spawania drutu niektórych producentów jest tlenek cyrkonu wzmocniony tlenkiem glinu. Ich mikrostruktura jest jednolita i gęsta, ze zwiększoną gęstością do 4,3 g/cm³. Zawartość tetragonalnego tlenku cyrkonu oraz jednolita, gęsta mikrostruktura nadają ceramicznym końcówkom do spawania drutu z domieszką tlenku cyrkonu wyjątkowo dobre właściwości mechaniczne, zmniejszając zużycie końcówki i częstotliwość jej wymiany podczas procesu spawania drutu.
(Ceramiczna kapilara klejąca, źródło: Sanhuan Group)
Urządzenie półprzewodnikowe może wydawać się wykonane z metalu i plastiku, ale w rzeczywistości zawiera wiele precyzyjnych komponentów ceramicznych wykonanych w zaawansowanej technologii. Podsumowując, ceramika precyzyjna jest wykorzystywana w sprzęcie półprzewodnikowym znacznie szerzej, niż moglibyśmy sobie wyobrazić.
III. Aktualny stan i wyzwania globalnego przemysłu ceramiki precyzyjnej
Dzięki swoim doskonałym właściwościom, ceramika precyzyjna jest szeroko stosowana w obronności narodowej, inżynierii chemicznej, metalurgii, elektronice, maszynach, lotnictwie, astronautyce i biomedycynie, a także w innych dziedzinach. Stała się kluczowym materiałem dla rozwoju w tych sektorach i przyciągnęła znaczną uwagę krajów rozwiniętych przemysłowo. Jej rozwój w dużym stopniu wpływa na postęp i rozwój innych branż.
1. Status branży
Obecnie obserwuje się wyraźny trend szybkiego postępu technologicznego, rozszerzania obszarów zastosowań i stabilnego wzrostu rynkowego w globalnym przemyśle ceramiki precyzyjnej. Ze względu na wysokie bariery techniczne, przemysł ceramiki precyzyjnej od dawna zdominowany jest przez Japonię, Stany Zjednoczone i niektóre firmy europejskie posiadające unikalne technologie. Wśród nich Japonia jest największym producentem ceramiki precyzyjnej, charakteryzującym się kompleksowym asortymentem produktów, wysoką produkcją, szerokimi obszarami zastosowań i doskonałymi ogólnymi parametrami, zajmując dominującą pozycję na rynku ceramiki, zwłaszcza ceramiki elektronicznej. Wysokotemperaturowe ceramiki strukturalne są kluczowym obszarem rozwoju ceramiki precyzyjnej w Stanach Zjednoczonych. Ponadto kraje UE, zwłaszcza Niemcy i Francja, prowadziły ukierunkowane badania w dziedzinie ceramiki strukturalnej, koncentrując się głównie na urządzeniach do produkcji energii, nowych materiałach energetycznych i komponentach ceramicznych do silników.
Chiny przeprowadziły badania i rozwój prawie wszystkich przemysłowych precyzyjnych materiałów ceramicznych. Dzięki projektom badawczo-rozwojowym, takim jak „Szósty Plan Pięcioletni”, „Siódmy Plan Pięcioletni”, „Ósmy Plan Pięcioletni”, „Program 863”, „Program 973”, „Program Wspierania Nauki i Technologii” oraz „Główne Narodowe Projekty Naukowo-Technologiczne”, zdolności badawczo-rozwojowe Chin w zakresie precyzyjnych materiałów ceramicznych znacznie się poprawiły.
Przegląd rozwoju procesów przygotowania materiałów ceramicznych w Chinach:
Główne metody przygotowania proszków ceramicznych w Chinach obejmują reakcję w stanie stałym, reakcję w fazie ciekłej i reakcję w fazie gazowej. Wraz z rozwojem nanotechnologii proszki wytwarzane w reakcjach fazy gazowej charakteryzują się dużą powierzchnią właściwą, wysoką sferycznością i wąskim rozkładem wielkości cząstek, co stanowi podstawę do przygotowania ceramiki o wysokiej wydajności.
Główne technologie formowania stosowane w chińskim przemyśle ceramiki precyzyjnej obejmują prasowanie izostatyczne na zimno (rodzaj prasowania na sucho), formowanie wtryskowe (rodzaj formowania tworzyw sztucznych), odlewanie taśmowe (rodzaj formowania zawiesin) i odlewanie żelowe.
Chiński przemysł ceramiki precyzyjnej wykorzystuje głównie technologie spiekania na gorąco (HP) i spiekania pod ciśnieniem gazu (GPS). Chiny przełamały zagraniczne blokady technologiczne w zakresie wielkogabarytowej ceramiki nasyconej azotem spiekanej pod ciśnieniem gazu i osiągnęły lokalizację technologiczną.
- Technologia precyzyjnej obróbki:
Technologie obróbki, takie jak obróbka elektroerozyjna (EDM), obróbka ultradźwiękowa, obróbka laserowa i obróbka chemiczna, są stopniowo stosowane w przetwórstwie ceramiki.
2. Główne problemy i wyzwania stojące przed Chinami
W porównaniu do zagranicznego przemysłu precyzyjnej ceramiki, większość produkowanych w Chinach produktów z precyzyjnej ceramiki ma niską wartość dodaną. Wiele elementów ceramicznych o wysokiej zawartości technicznej w elektronicznych produktach końcowych nadal wymaga importu w dużych ilościach. Pilnie należy rozwiązać problemy takie jak oczyszczanie surowców, komponenty o wysokiej gęstości, duże rozmiary, złożone kształty i cele ceramiczne. Wskaźniki wydajności niektórych krajowych materiałów nie osiągnęły jeszcze poziomu podobnych materiałów zagranicznych, precyzja urządzeń jest niska, a wysokiej klasy sprzęt jest importowany. Integracja przemysłu, akademii, badań i zastosowań nie jest wystarczająco ścisła, a osiągnięcia laboratoryjne nie otrzymują wystarczającej uwagi, co prowadzi do poważnego rozłączenia z praktycznymi zastosowaniami.
Obecnie chińska technologia i procesy produkcyjne w zakresie wysokiej czystości, ultradrobnych, wysokowydajnych proszków ceramicznych nadal znacznie ustępują krajom takim jak Japonia i Stany Zjednoczone, a wysokiej klasy materiały proszkowe są nadal głównie importowane. Ponadto istnieje znaczna luka w technologii efektywnego rozpraszania proszków. Wprowadzenie wysokiej klasy sprzętu w pewnym stopniu poprawiło nasz poziom technologiczny, ale wiąże się to ze znacznymi inwestycjami i presją finansową dla przedsiębiorstw. Wraz z rozwojem krajowego sprzętu do przygotowywania wysokiej klasy materiałów, rośnie zapotrzebowanie na materiały i komponenty ceramiczne spełniające określone wymagania dotyczące wydajności materiałowej. Jednak ze względu na ograniczenia w chińskim poziomie produkcji wysokiej klasy materiałów ceramicznych, nadal w dużej mierze konieczny jest import materiałów. Ogólnie rzecz biorąc, przejście Chin z kraju produkującego na kraj silny w dziedzinie zaawansowanej ceramiki napotyka głównie następujące problemy:
- Brak wysokiej jakości zaawansowanych przedsiębiorstw produkujących surowce do proszków ceramicznych
- Stosunkowo zacofana technologia i sprzęt do produkcji na dużą skalę
- Słabe innowacje technologiczne i możliwości inżynieryjne przedsiębiorstw
- Pilna potrzeba posiadania firm z międzynarodowymi markami lub specjalistyczną wiedzą
IV. Dziesięć „punktów bólu” chińskiego przemysłu ceramiki precyzyjnej
- Wysokowydajne proszki azotku krzemu i azotku aluminium:
Chiny w dużym stopniu polegają na imporcie tych dwóch ważnych surowców do zaawansowanych proszków ceramicznych, głównie od japońskich firm, takich jak UBE i Tokuyama Soda. Materiały te są nie tylko drogie, ale także charakteryzują się niepewną niezawodnością dostaw. Krajowi producenci mają znaczące braki w zakresie wydajności proszków, stabilności produkcji wsadowej i spójności. Hamuje to industrializację wielu produktów ceramicznych o wysokiej wartości dodanej, takich jak wysokiej klasy kulki ceramiczne do łożysk oraz ceramiczne podłoża o wysokiej przewodności cieplnej i wysokiej wytrzymałości.
- Podłoża ceramiczne z azotku krzemu o wysokiej przewodności cieplnej i wysokiej wytrzymałości:
Wraz z szybkim rozwojem pojazdów zasilanych nową energią, kolei dużych prędkości, energetyki wiatrowej i stacji bazowych 5G, istnieje ogromne zapotrzebowanie na podłoża ceramiczne z azotku krzemu nowej generacji o wysokiej przewodności cieplnej i wysokiej wytrzymałości, stosowane w tranzystorach IGBT (urządzenia dużej mocy dla tych nowych branż). Roczne zapotrzebowanie samej grupy CRRC sięga 5 milionów sztuk. Firmy takie jak Kyocera (Japonia) i Rogers Corporation (USA) są już w stanie masowo produkować i dostarczać podłoża ceramiczne z azotku krzemu trawione z miedzią. Chiny rozpoczęły działalność w tej dziedzinie później, ale w ostatnich latach instytucje badawcze uniwersytetów i niektóre przedsiębiorstwa przyspieszyły badania i rozwój, osiągając znaczące postępy, z przewodnością cieplną przekraczającą 90 W/m·K, wytrzymałością na zginanie przekraczającą 650 MPa i udarnością przekraczającą 6,5 MPa·m¹/². Jednak do industrializacji wciąż pozostaje luka.
Podłoże ceramiczne z azotku krzemu o wysokiej przewodności cieplnej i wysokiej wytrzymałości
- Przygotowanie wysokowydajnych płyt miedzianych z azotku aluminium/azotku krzemu:
Podłoża pokryte miedzią o wysokiej przewodności cieplnej na bazie azotku glinu lub azotku krzemu do tranzystorów IGBT są nadal głównie importowane, zwłaszcza do modułów sterowania urządzeniami dużej mocy w kolei dużych prędkości. Krajowa technologia pokrywania podłoży miedzią nie spełnia jeszcze rygorystycznych wymagań dotyczących płyt pokrytych miedzią, na przykład pod względem odporności na cykle termiczne. Obecnie społeczność międzynarodowa stosuje zaawansowaną technologię aktywnego spiekania metali (AMB) do pokrywania miedzią, która zapewnia wyższą siłę wiązania i lepszą odporność na cykle termiczne w porównaniu do bezpośredniego spiekania miedzi (DBC).
- Łatwo spiekalny proszek ceramiczny z drobnoziarnistej tlenku glinu:
W przypadku wielu zaawansowanych produktów z ceramiki aluminiowej, takich jak biokeramika na bazie tlenku glinu, podłoża ceramiczne, lampy próżniowe, tekstylna ceramika odporna na ścieranie i elektroniczna ceramika próżniowa, proszek tlenku glinu nadal jest importowany z Japonii, Niemiec i Stanów Zjednoczonych. Dotyczy to w szczególności produkcji elementów ceramicznych z tlenku glinu o zawartości tlenku glinu 99,5%, 99,7%, 99,8% i 99,9%, charakteryzujących się drobnymi ziarnami, jednorodną strukturą, dobrymi właściwościami elektromechanicznymi i odpornością na ścieranie. Krajowi producenci mają braki w zakresie kontroli zawartości zanieczyszczeń w proszku tlenku glinu, aktywności spiekania, a zwłaszcza jednorodności mikrostruktury i właściwości materiałowych po spieczeniu.
- Płyty z tlenku glinu do czujników ciśnienia:
Płaskie ceramiczne czujniki ciśnienia pojemnościowego na bazie tlenku glinu są masowo stosowane w różnych samochodach, reprezentując rynek wart prawie 100 miliardów RMB. Jednakże, te płytki tlenku glinu są obecnie głównie importowane. Krajowe płytki tlenku glinu mają braki w zakresie modułu sprężystości, liczby cykli odkształcenia sprężystego, żywotności i niezawodności, i jeszcze nie weszły do komercyjnego praktycznego zastosowania.
- Płaskie czujniki tlenu na bazie tlenku cyrkonu:
Czujniki tlenu na bazie cyrkonu typu planarnego odgrywają znaczącą rolę w redukcji szkodliwych emisji ze spalin samochodowych i poprawie ekonomiki paliwowej. Obecnie głównymi samochodowymi czujnikami tlenu są czujniki cyrkonowe typu ogniwa stężeniowego. W ostatnich latach liczba samochodów w Chinach stale rośnie, a każdy samochód wymaga co najmniej dwóch czujników tlenu. Rynek czujników tlenu rośnie w tempie 30% rocznie, a czujniki tlenu są częściami eksploatacyjnymi, które zazwyczaj wymagają wymiany podczas każdego głównego przeglądu (lub nawet co roku). Obecnie prawie wszystkie samochodowe czujniki tlenu w Chinach są albo całkowicie importowane, albo składane z importowanych komponentów. Ogromny rynek samochodowych czujników tlenu, surowe przepisy dotyczące emisji spalin oraz brak odpowiedniej technologii w Chinach sprawiają, że badania i rozwój produktów czujników tlenu o dobrej wydajności, wysokiej niezawodności i własności intelektualnej są szczególnie pilne i ważne. Główni producenci samochodowych czujników tlenu to Bosch, Delphi, Denso, NTK i Kefico, wraz z ich spółkami joint venture i oddziałami w różnych regionach. Bosch jest największym producentem czujników tlenu. Ponadto niektóre zagraniczne firmy ceramiczne, wykorzystując swoje silne możliwości rozwoju ceramiki, produkują elementy czujnikowe i grzałki ceramiczne do czujników tlenu, takie jak Kyocera.
- Ceramiczne stawy biodrowe:
Rynek endoprotez stawów biodrowych z bioceramiki charakteryzuje się ogromnym popytem, a średnio co dwie minuty na świecie wykonywana jest jedna operacja wszczepienia ceramicznej endoprotezy stawu biodrowego. Obecnie są one produkowane głównie przez firmy takie jak CeramTec (Niemcy) i Kyocera (Japonia), a Chiny muszą ich co roku importować duże ilości. Wymagania dotyczące wydajności materiałowej i niezawodności ceramicznych endoprotez stawów biodrowych są niezwykle wysokie, z przewidywaną żywotnością wynoszącą co najmniej 20 lat. Materiał produkowany przez CeramTec, kompozyt ceramiczny na bazie Al₂O₃, wzmocniony i utwardzony synergistycznie płytkowymi ziarnami ZrO₂ i SrAl₁₂₋ₓCrₓO₁₉, osiągnął wytrzymałość na zginanie i udarność na poziomie odpowiednio 1380 MPa i 6,5 MPa·m¹/². Chiny nie posiadają produktu równoważnego w tej dziedzinie.
- Długowieczne, ceramiczne kulki i łożyska o wysokiej odporności na zużycie:
Łożyska ceramiczne stosowane w zaawansowanym sprzęcie, takim jak silniki lotnicze, generatory energii wiatrowej i obrabiarki CNC, wymagają nie tylko wysokich właściwości mechanicznych i termicznych, ale także doskonałej odporności na zużycie, niezawodności i długiej żywotności. Nadal istnieje znacząca luka między krajowymi kulkami łożyskowymi z ceramiki azotku krzemu a tymi produkowanymi przez Toshiba Ceramics (Japonia). W porównaniu z międzynarodowymi renomowanymi firmami produkującymi łożyska, takimi jak SKF (Szwecja), FAG (Niemcy) i KOYO (Japonia), chińskie łożyska nadal znajdują się w średnim i niskim segmencie łańcucha przemysłowego. Produkty wysokiej klasy stosowane w energetyce wiatrowej i obrabiarkach CNC nadal opierają się na imporcie.
- Duże, przezroczyste i przepuszczające fale ceramiki:
Dla przezroczystych i przepuszczających promieniowanie podczerwone materiałów ceramicznych stosowanych w zastosowaniach obronnych i wojskowych, takich jak Y₂O₃, MgO, AlON, MgAl₂O₄ i przezroczyste ceramiki Nd:YAG (laserowe). Obecnie nasza technologia ogranicza się do produkcji stosunkowo małych rozmiarów. Stajemy przed wyzwaniami w produkcji dużych (do 0,5 metra na świecie) przezroczystych i przepuszczających fale materiałów ceramicznych, z lukami zarówno w technologii przetwarzania, jak i w sprzęcie.
- Części zamienne z ceramiki do linii produkcyjnych półprzewodników:
Linie produkcyjne wafli półprzewodnikowych wymagają licznych ceramicznych części zamiennych, takich jak płyty ceramiczne, ramiona ceramiczne, pierścienie ceramiczne i uchwyty. Obejmują one różne konstrukcyjne materiały ceramiczne, w tym tlenek glinu, azotek glinu i węglik krzemu. Części te wymagają wysokiej czystości materiału, jednorodnej gęstości, niezwykle wysokiej precyzji obróbki i wykończenia powierzchni. Tylko nieliczne krajowe przedsiębiorstwa dostarczają niektóre z tych produktów, a wysokiej klasy części zamienne z azotku glinu i węgliku krzemu nadal są importowane.
V. Zalecenia dotyczące rozwoju chińskiego przemysłu ceramiki precyzyjnej
1. Kultywowanie potencjalnych przedsiębiorstw i wykorzystanie przywództwa w branży
Zaleca się, aby odpowiednie organy państwowe zwiększyły wsparcie dla badań i rozwoju precyzyjnych komponentów ceramicznych oraz rozwoju przemysłu w ramach realizacji „Krajowego zarysu rozwoju przemysłu zintegrowanych obwodów”. Poprzez integrację systemów badawczych, stowarzyszeń branżowych i sojuszy, priorytetem powinno być skoncentrowanie zasobów w całym kraju w celu wyboru i wsparcia grupy potencjalnych przedsiębiorstw o międzynarodowej konkurencyjności, napędzając tym samym rozwój całego przemysłu.
2. Wzmocnienie synergii przemysłowej i integracja krajowych zasobów przemysłowych
Zaleca się, aby odpowiednie organy państwowe zachęcały duże przedsiębiorstwa państwowe z sektorów takich jak sprzęt, materiały, chemikalia i inne do udziału w rozwoju przemysłu precyzyjnej ceramiki. Ustanowić cele dotyczące lokalizacji sprzętu i komponentów, stworzyć mechanizm kierowania lokalizacją kluczowych komponentów/materiałów, łączący wsparcie finansowe z ubezpieczeniem technologicznym, oraz zachęcać krajowe firmy produkujące sprzęt półprzewodnikowy do zakupu krajowych precyzyjnych komponentów ceramicznych przy wsparciu finansowania rządowego i rynkowych produktów ubezpieczeniowych. Zachęcać przedsiębiorstwa i uniwersytety do wspólnego tworzenia instytucji badawczo-rozwojowych oraz instytucji testowania/certyfikacji, przyspieszając tworzenie systemu usług technologicznych dla lokalizacji kluczowych komponentów i materiałów, takich jak precyzyjna ceramika.
3. Wzmocnienie zabezpieczeń przedsiębiorstw i optymalizacja środowiska rozwoju przemysłu
Zaleca się, aby odpowiednie organy państwowe utworzyły centra pomocy w zakresie własności intelektualnej w klastrach przemysłu ceramiki precyzyjnej. Kierować i pomagać przedsiębiorstwom w rozwiązywaniu sporów dotyczących własności intelektualnej poprzez skracanie cyklu przeglądu i autoryzacji IP oraz zwiększanie kar za naruszenia, chroniąc tym samym dynamikę innowacji w zakresie badań i rozwoju. Przyciągać kluczowe przedsiębiorstwa ceramiki precyzyjnej do osiedlania się w strefach wolnocłowych i wykorzystywać zróżnicowane polityki podatkowe w określonych strefach w celu złagodzenia obecnej presji kosztów badań i rozwoju w przemyśle półprzewodnikowym. Jednocześnie wzmocnić koordynację i integrację polityki w zakresie kształcenia specjalistycznych talentów technicznych dla przedsiębiorstw ceramiki precyzyjnej, wspierając lokalne władze w świadczeniu usług wsparcia dla kluczowych członków zespołu w obszarach takich jak rejestracja gospodarstwa domowego, edukacja dzieci i opieka zdrowotna, zwłaszcza wsparcie usługowe dla zespołów talentów rekrutowanych z wiodących zagranicznych firm.
4. Wykorzystanie mechanizmów rynkowych i zwiększenie inwestycji przemysłowych
Zaleca się dalsze doskonalenie funkcji handlowych giełd w Szanghaju i Shenzhen oraz wykorzystanie utworzenia Pekińskiej Giełdy Papierów Wartościowych jako nowej okazji do stworzenia sektorów nowych materiałów poświęconych ceramice precyzyjnej i innym zaawansowanym materiałom w ramach trzech giełd krajowych, precyzyjnie wspierając małe i średnie przedsiębiorstwa o kluczowej konkurencyjności w dziedzinie nowych materiałów. Zachęca się fundusze długoterminowe, takie jak ubezpieczenia i fundusze powiernicze, do zwiększenia inwestycji kapitałowych w wybitne nienotowane na giełdzie małe i średnie przedsiębiorstwa, ustanawiając rozsądne kanały napływu i wyjścia kapitału, usuwając przeszkody i przyspieszając rozwój przedsiębiorstw z "kluczowymi technologiami" w sektorze nowych materiałów.
Dodatkowo warto zaznaczyć, że V Forum Zaawansowanych Ceramiki w Zastosowaniach Półprzewodnikowych i Rozwoju Przemysłu odbędzie się uroczyście 11 czerwca 2026 roku w hotelu Pullman Suzhou Zhonghui. Forum zgromadzi akademików, ekspertów, naukowców i dyrektorów z renomowanych krajowych i międzynarodowych przedsiębiorstw z dziedziny materiałów ceramicznych dla półprzewodników, którzy wygłoszą prezentacje inauguracyjne. Forum skupi się na zaawansowanych materiałach ceramicznych stosowanych w kluczowych urządzeniach półprzewodnikowych (takich jak litografy, wypalarki plazmowe, implantatory jonów, systemy osadzania cienkich warstw CVD i PVD, piece dyfuzyjne do obróbki cieplnej itp.), w tym na tlenku glinu o wysokiej czystości, azotku aluminium, węgliku krzemu, azotku krzemu, tlenku itru, kordierycie i CVD-SiC. Omówione zostaną również kluczowe komponenty ceramiczne, takie jak grzałki ceramiczne, uchwyty elektrostatyczne, uchwyty próżniowe, pierścienie ogniskujące, szyny prowadzące ceramiczne o niskiej i bliskiej zeru rozszerzalności oraz stoliki robocze do litografów. Forum poruszy również kwestie technologii formowania, spiekania, precyzyjnej obróbki i czyszczenia ceramiki klasy półprzewodnikowej, a także materiałów na wafle półprzewodnikowe z węgliku krzemu trzeciej generacji. Forum ułatwi interaktywną wymianę informacji na temat nowych technologii, nowych procesów, nowych materiałów, nowych zastosowań, nowych rynków i rozwoju łańcucha przemysłowego dla precyzyjnych komponentów ceramicznych klasy półprzewodnikowej o wysokiej wydajności, zapewniając cenne możliwości komunikacji i wymiany między przedsiębiorstwami z górnego i dolnego strumienia przemysłu ceramicznego dla półprzewodników. Omówione zostaną trendy rozwojowe i nowe możliwości dla precyzyjnych materiałów ceramicznych i kluczowych komponentów w chińskim przemyśle półprzewodnikowym.
Zastrzeżenie: Treść tego artykułu pochodzi z "Material Circle". Jest udostępniana wyłącznie w celach informacyjnych i nie reprezentuje poglądów tego konta. Obrazy nie są wykorzystywane do celów komercyjnych. W przypadku jakichkolwiek naruszeń prosimy o kontakt z redaktorem w celu usunięcia. Dziękujemy!