Керамическое кольцо из оксида иттрия (Y₂O₃) | Высокочистые керамические кольца, устойчивые к плазме, для полупроводникового оборудования
Высокочистые керамические кольца из иттрии (Y₂O₃) с отличной плазменной и коррозионной стойкостью. Идеально подходят для камер полупроводникового оборудования и процессов травления.
керамическое кольцо из иттрии
керамическое кольцо из Y2O3
плазмостойкое керамическое кольцо
полупроводниковые компоненты из оксида иттрия
высокочистое керамическое кольцо
керамическое кольцо травяльной камеры
Обзор продукта
Керамические кольца из оксида иттрия (Y₂O₃) — это передовые компоненты, разработанные для плазменных сред в полупроводниковой промышленности, особенно в системах травления и осаждения. Благодаря исключительной стойкости к плазме, сверхвысокой чистоте и превосходной коррозионной стойкости, керамические кольца из оксида иттрия значительно снижают загрязнение и продлевают срок службы компонентов в агрессивных условиях обработки.
Ключевые особенности
1. Превосходная стойкость к плазме
Выдающаяся стойкость к фторсодержащей плазме, снижающая эрозию и образование частиц.
2. Ультравысокая чистота
Минимизирует загрязнение в процессах производства полупроводников.
3. Отличная коррозионная стойкость
Надежно работает в химически агрессивных средах.
4. Стабильность при высоких температурах
Сохраняет структурную целостность в условиях высокотемпературной обработки.
5. Низкое образование частиц
Обеспечивает совместимость с чистыми помещениями и высокий выход продукции.
Применение
Оборудование для травления полупроводников
Камеры плазменной обработки
Системы осаждения CVD / PVD
Оборудование для производства пластин
Высокочистые среды чистых помещений
Технические преимущества
Увеличенный срок службы в плазменных средах
Сокращение затрат на техническое обслуживание и времени простоя
Улучшенная стабильность процесса и выход продукции
Сниженный риск загрязнения по сравнению с традиционной керамикой
Варианты кастомизации
Внешний и внутренний диаметры
Толщина и профиль кольца
Обработка поверхности и полировка
Интеграция с узлами камеры
OEM-производство по чертежам
Локализованное название (США)
Керамические кольца из оксида иттрия для плазменных применений в полупроводниковой промышленности | Поставщик высокочистых компонентов из Y₂O₃ в США
Фрагмент локализованного контента
Мы поставляем высокочистые иттриевые керамические кольца по всей территории США для оборудования плазменной обработки полупроводников. Наши компоненты из Y₂O₃ обеспечивают превосходную плазменную стойкость, низкое загрязнение и длительный срок службы.
Доступна OEM-кастомизация и инженерная поддержка.
🔹 CTA
Запросить индивидуальное предложение на иттриевое кольцо
Отправьте спецификации вашей камеры
Свяжитесь с нашей командой инженеров