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氧化铝精密陶瓷部件 | 高纯度 95%-99.7% Al₂O₃ 零件制造商
产品细节
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常问问题
基本信息
物流方式:快递
规格编号:SN001Al2O3001
商品介绍

氧化铝陶瓷晶圆处理臂 | 高精度半导体传输解决方案

专为半导体制造设计的高纯氧化铝陶瓷晶圆处理臂。卓越的热稳定性、耐磨性和无污染晶圆传输。可提供定制解决方案。

  • 主关键词:氧化铝陶瓷晶圆搬运臂

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    • 陶瓷晶圆传输臂

    • 半导体晶圆处理机器人手臂

    • 高纯度氧化铝组件

    • 晶圆处理末端执行器

    • 半导体用精密陶瓷臂

产品概述

The 铝土矿陶瓷晶圆处理手臂是一款专为半导体制造环境中精密晶圆传输而设计的高性能组件。由高纯度氧化铝(Al₂O₃)制成,具有卓越的机械强度、热稳定性和超低颗粒产生,确保对精密晶圆进行无污染处理。


主要特点

1. 高纯度材料 (≥ 99% Al₂O₃)
确保优异的耐化学性,并防止晶圆处理过程中的污染。

2. 卓越的耐磨性
即使在连续自动操作下也能延长使用寿命。

3. 优异的热稳定性
在高温处理环境中保持结构完整性。

4. 超低颗粒产生
适用于半导体工厂的洁净室应用。

5. 精密加工
紧密公差和平滑表面处理,确保安全和准确的晶圆转移。


应用

  • 半导体晶圆处理系统

  • 晶圆转移机器人

  • 真空处理设备

  • 洁净室自动化系统


技术优势

  • 非金属、非磁性材料

  • 高介电强度

  • 在腐蚀性环境中的耐腐蚀性

  • 兼容真空和等离子环境


定制选项

我们根据您的具体要求提供定制解决方案:

  • 尺寸和几何形状

  • 表面处理(抛光、涂层)

  • 安装接口

  • 与机器人系统集成


本地化标题 (US)

美国铝土矿陶瓷晶圆处理手臂供应商 | 半导体精密组件

本地化内容片段

我们为美国各地的半导体制造商提供高质量的氧化铝陶瓷晶圆处理臂,包括加利福尼亚州、德克萨斯州和亚利桑那州。我们的产品符合先进半导体工厂的严格要求,确保可靠性、精度和长期性能。

为美国客户提供快速国际运输和工程支持。


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材料特性表

类型 
单元
A‑100
A‑200
A‑300
AZ‑100
材料
-Al₂O₃ 97%
Al₂O₃ 99.5%
Al₂O₃ 99.7%
Al₂O₃‑ZrO₂
颜色
-
白象牙白色
象牙白
白色
密度
g/cm³
3.75
3.9
3.92
4.2
弯曲强度
MPa
280
320
370
480
抗压强度
MPa
2250
2300
2450
2700
弹性模量
GPa
330
370
380
350
断裂韧性
MPa·m^½
3
4
4.5
5.5
泊松比

0.23
0.22
0.22
0.24
硬度
HRA
90
91
91
91
维氏硬度
HV1
1450
1550
1600
1600
热膨胀
10⁻⁶K⁻¹
7.1
6.8
6.8
9.2
导热性
W/m·K
25
32
32
8
热冲击
ΔT·℃
200
220
220
470
最高使用温度(氧化性)

1200
1400
1650
1000
最高使用温度(还原性)

1200
1400
1700
1000
体积电阻率(20℃)
Ω·cm
10¹⁴
10¹⁵
10¹⁵
10¹⁴
介电强度
kV/mm
16
20
22
16.5
介电常数(1MHz)
-11.5111011
介电损耗 (tanδ)
1MHz
3×10⁻³
1×10⁻³
1×10⁻³
2×10⁻²



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