基本信息
交付时间:1 month
物流方式:快递
规格编号:SN001Al2O3001
商品介绍
氧化铝陶瓷晶圆搬运臂 | 高精度半导体传输解决方案
专为半导体制造设计的高纯氧化铝陶瓷晶圆处理臂。卓越的热稳定性、耐磨性和无污染晶圆传输。提供定制解决方案。
主关键词:氧化铝陶瓷晶圆搬运臂
次要关键词:
陶瓷晶圆传输臂
半导体晶圆搬运机器人手臂
高纯度氧化铝组件
晶圆处理末端执行器
用于半导体的精密陶瓷臂
产品概述
The 氧化铝陶瓷晶圆搬运臂是一款高性能组件,专为半导体制造环境中的精密晶圆传输而设计。采用高纯度氧化铝 (Al₂O₃) 制造,具有出色的机械强度、热稳定性和超低颗粒产生,确保对精密晶圆进行无污染搬运。
主要特点
1. 高纯度材料 (≥ 99% Al₂O₃)
确保出色的耐化学腐蚀性,并在晶圆搬运过程中防止污染。
2. 优异的耐磨性
即使在连续自动化运行下也能延长使用寿命。
3. 优异的热稳定性
在高温加工环境中保持结构完整性。
4. 超低颗粒产生
非常适合半导体工厂的洁净室应用。
5. 精密加工
严格的公差和光滑的表面处理,确保安全准确的晶圆传输。
应用
半导体晶圆处理系统
晶圆传输机器人
真空处理设备
洁净室自动化系统
技术优势
非金属、非磁性材料
高介电强度
在腐蚀性环境中的耐腐蚀性
兼容真空和等离子环境
定制选项
我们根据您的具体要求提供定制解决方案:
尺寸和几何形状
表面处理(抛光、涂层)
安装接口
与机器人系统集成
本地化标题 (US)
美国氧化铝陶瓷晶圆搬运臂供应商 | 半导体精密组件
本地化内容片段
我们为美国各地的半导体制造商供应高品质氧化铝陶瓷晶圆搬运臂,客户遍布加利福尼亚州、德克萨斯州和亚利桑那州。我们的产品符合先进半导体工厂的严格要求,确保可靠性、精度和长期性能。
为美国客户提供快速的国际运输和工程支持。
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材料特性表
| 类型 | 单位 | A‑100 | A‑200 | A‑300 | AZ‑100 |
| 材料 | - | Al₂O₃ 97% | Al₂O₃ 99.5% | Al₂O₃ 99.7% | Al₂O₃‑ZrO₂ |
| 颜色 | - | 白象牙 | 白色 | 象牙白 | 白色 |
| 密度 | g/cm³ | 3.75 | 3.9 | 3.92 | 4.2 |
| 弯曲强度 | MPa | 280 | 320 | 370 | 480 |
| 抗压强度 | MPa | 2250 | 2300 | 2450 | 2700 |
| 弹性模量 | GPa | 330 | 370 | 380 | 350 |
| 断裂韧性 | MPa·m^½ | 3 | 4 | 4.5 | 5.5 |
| 泊松比 | — | 0.23 | 0.22 | 0.22 | 0.24 |
| 硬度 | HRA | 90 | 91 | 91 | 91 |
| 维氏硬度 | HV1 | 1450 | 1550 | 1600 | 1600 |
| 热膨胀 | 10⁻⁶K⁻¹ | 7.1 | 6.8 | 6.8 | 9.2 |
| 导热系数 | W/m·K | 25 | 32 | 32 | 8 |
| 热冲击 | ΔT·℃ | 200 | 220 | 220 | 470 |
| 最高使用温度(氧化性) | ℃ | 1200 | 1400 | 1650 | 1000 |
| 最高使用温度(还原气氛) | ℃ | 1200 | 1400 | 1700 | 1000 |
| 体积电阻率 (20℃) | Ω·cm | 10¹⁴ | 10¹⁵ | 10¹⁵ | 10¹⁴ |
| 介电强度 | kV/mm | 16 | 20 | 22 | 16.5 |
| 介电常数 (1MHz) | - | 11.5 | 11 | 10 | 11 |
| 介电损耗 (tanδ) | 1MHz | 3×10⁻³ | 1×10⁻³ | 1×10⁻³ | 2×10⁻² |
