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氧化铝精密陶瓷部件 | 高纯度 95%-99.7% Al₂O₃ 零件制造商
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规格编号:SN001Al2O3001
商品介绍

氧化铝陶瓷晶圆搬运臂 | 高精度半导体传输解决方案

专为半导体制造设计的高纯氧化铝陶瓷晶圆处理臂。卓越的热稳定性、耐磨性和无污染晶圆传输。提供定制解决方案。

  • 主关键词:氧化铝陶瓷晶圆搬运臂

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    • 陶瓷晶圆传输臂

    • 半导体晶圆搬运机器人手臂

    • 高纯度氧化铝组件

    • 晶圆处理末端执行器

    • 用于半导体的精密陶瓷臂

产品概述

The 氧化铝陶瓷晶圆搬运臂是一款高性能组件,专为半导体制造环境中的精密晶圆传输而设计。采用高纯度氧化铝 (Al₂O₃) 制造,具有出色的机械强度、热稳定性和超低颗粒产生,确保对精密晶圆进行无污染搬运。


主要特点

1. 高纯度材料 (≥ 99% Al₂O₃)
确保出色的耐化学腐蚀性,并在晶圆搬运过程中防止污染。

2. 优异的耐磨性
即使在连续自动化运行下也能延长使用寿命。

3. 优异的热稳定性
在高温加工环境中保持结构完整性。

4. 超低颗粒产生
非常适合半导体工厂的洁净室应用。

5. 精密加工
严格的公差和光滑的表面处理,确保安全准确的晶圆传输。


应用

  • 半导体晶圆处理系统

  • 晶圆传输机器人

  • 真空处理设备

  • 洁净室自动化系统


技术优势

  • 非金属、非磁性材料

  • 高介电强度

  • 在腐蚀性环境中的耐腐蚀性

  • 兼容真空和等离子环境


定制选项

我们根据您的具体要求提供定制解决方案:

  • 尺寸和几何形状

  • 表面处理(抛光、涂层)

  • 安装接口

  • 与机器人系统集成


本地化标题 (US)

美国氧化铝陶瓷晶圆搬运臂供应商 | 半导体精密组件

本地化内容片段

我们为美国各地的半导体制造商供应高品质氧化铝陶瓷晶圆搬运臂,客户遍布加利福尼亚州、德克萨斯州和亚利桑那州。我们的产品符合先进半导体工厂的严格要求,确保可靠性、精度和长期性能。

为美国客户提供快速的国际运输和工程支持。


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材料特性表

类型 
单位
A‑100
A‑200
A‑300
AZ‑100
材料
-Al₂O₃ 97%
Al₂O₃ 99.5%
Al₂O₃ 99.7%
Al₂O₃‑ZrO₂
颜色
-
白象牙白色
象牙白
白色
密度
g/cm³
3.75
3.9
3.92
4.2
弯曲强度
MPa
280
320
370
480
抗压强度
MPa
2250
2300
2450
2700
弹性模量
GPa
330
370
380
350
断裂韧性
MPa·m^½
3
4
4.5
5.5
泊松比

0.23
0.22
0.22
0.24
硬度
HRA
90
91
91
91
维氏硬度
HV1
1450
1550
1600
1600
热膨胀
10⁻⁶K⁻¹
7.1
6.8
6.8
9.2
导热系数
W/m·K
25
32
32
8
热冲击
ΔT·℃
200
220
220
470
最高使用温度(氧化性)

1200
1400
1650
1000
最高使用温度(还原气氛)

1200
1400
1700
1000
体积电阻率 (20℃)
Ω·cm
10¹⁴
10¹⁵
10¹⁵
10¹⁴
介电强度
kV/mm
16
20
22
16.5
介电常数 (1MHz)
-11.5111011
介电损耗 (tanδ)
1MHz
3×10⁻³
1×10⁻³
1×10⁻³
2×10⁻²



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