Bague de couverture en nitrure d'aluminium | Bague de compression AlN à haute conductivité thermique pour équipement de semi-conducteurs
Bagues de couverture en nitrure d'aluminium (AlN) avec une conductivité thermique et une isolation électrique élevées. Idéal pour les équipements de semi-conducteurs, les systèmes plasma et les environnements à haute température.
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Bague en céramique pour équipement plasma
Aperçu du produit
La bague de couverture en nitrure d'aluminium (AlN), également connue sous le nom de bague de compression, est un composant céramique haute performance conçu pour les équipements de traitement des semi-conducteurs et des plasmas. Grâce à son excellente conductivité thermique et à son isolation électrique, les bagues en AlN sont largement utilisées pour protéger, positionner et stabiliser les composants dans des environnements à haute température et en salle blanche.
Caractéristiques principales
1. Haute conductivité thermique
Une dissipation thermique efficace aide à maintenir la stabilité thermique dans les processus de semi-conducteurs.
2. Excellente isolation électrique
Assure un fonctionnement sûr dans les environnements électriquement sensibles.
3. Résistance aux hautes températures
Convient aux conditions de traitement sous plasma et à haute température.
4. Stabilité dimensionnelle
Maintient sa forme et sa précision lors des cycles thermiques.
5. Faible génération de particules
Idéal pour les applications en salle blanche et sensibles à la contamination.
Applications
Équipement de traitement des semi-conducteurs
Systèmes de gravure et de dépôt plasma
Composants de manipulation de plaquettes et de chambres
Systèmes sous vide et à haute température
Équipement industriel de précision
Avantages techniques
Gestion thermique améliorée dans l'équipement
Risque de contamination réduit dans les environnements de salle blanche
Longue durée de vie dans des conditions d'exploitation difficiles
Compatible avec les procédés de semi-conducteurs avancés
Options de personnalisation
Diamètre extérieur et intérieur
Conception de l'épaisseur et du profil
Planéité et finition de surface
Usinage de fentes, de trous ou de caractéristiques spéciales
Production OEM basée sur des dessins
Titre localisé (US)
Bagues de couverture en nitrure d'aluminium pour équipements de semi-conducteurs | Fournisseur de céramique à haute conductivité thermique aux États-Unis
Extrait de contenu localisé
Nous fournissons des bagues de couverture en nitrure d'aluminium haute performance à des clients aux États-Unis pour des applications de traitement de semi-conducteurs et de plasma. Nos bagues AlN offrent une excellente gestion thermique, une isolation électrique et une durabilité dans des environnements exigeants.
Personnalisation OEM et support d'ingénierie disponibles.
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| 品类Grade | AlN-HT170 | AlN-S170 | |
| Composition chimique% AlN | % | ≥99.5 | ≥99.5 |
| Structure chimique | |||
| 生产工艺 | Pressage à chaud | Sinterisation sous atmosphère | |
| Processus de production | |||
| Densité | g/cm3 | ≥3,26 g/cm3 | ≥3,3 g/cm3 |
| Densité | |||
| Conductivité thermique (température ambiante) | W/m.k | ≥170 | ≥170 |
| Conductivité thermique à 20℃ | |||
| Rugosité de surface | µm | ≤ 2 | ≤ 2 |
| Planéité de surface | |||
| Dureté Leeb | HL | 800 | 750 |
| Dureté | |||
| Résistance à la flexion | MPa | ≥350 | ≥350 |
| Résistance à la flexion |
