Anneau de couverture en nitrure d'aluminium | Anneau de compression AlN à haute conductivité thermique pour équipements semi-conducteurs
Anneaux de couverture en nitrure d'aluminium (AlN) avec haute conductivité thermique et isolation électrique. Idéal pour les équipements semi-conducteurs, les systèmes plasma et les environnements à haute température.
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Bague de compression en AlN
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anneau en céramique pour équipement plasma
Aperçu du produit
L'anneau de couverture en nitrure d'aluminium (AlN), également connu sous le nom d'anneau de compression, est un composant céramique haute performance conçu pour les équipements de traitement des semi-conducteurs et du plasma. Avec une excellente conductivité thermique et une isolation électrique, les anneaux AlN sont largement utilisés pour protéger, positionner et stabiliser des composants dans des environnements à haute température et en salle blanche.
Caractéristiques principales
1. Haute conductivité thermique
Une dissipation thermique efficace aide à maintenir la stabilité thermique dans les processus de semi-conducteurs.
2. Excellente isolation électrique
Assure un fonctionnement sûr dans des environnements électriquement sensibles.
3. Résistance à haute température
Convient aux conditions de traitement sous plasma et à haute température.
4. Stabilité dimensionnelle
Maintient sa forme et sa précision lors des cycles thermiques.
5. Faible génération de particules
Idéal pour les applications en salle blanche et sensibles à la contamination.
Applications
Équipement de traitement des semi-conducteurs
Systèmes de gravure et de dépôt plasma
Composants de manipulation de plaquettes et de chambres
Systèmes sous vide et à haute température
Équipements industriels de précision
Avantages techniques
Gestion thermique améliorée dans l'équipement
Risque de contamination réduit dans les environnements de salle blanche
Longue durée de vie dans des conditions d'exploitation difficiles
Compatible avec des processus de semi-conducteurs avancés
Options de personnalisation
Diamètre extérieur et intérieur
Conception de l'épaisseur et du profil
Planéité et finition de surface
Usinage de fente, de trou ou de caractéristique spéciale
Production OEM basée sur des dessins
Titre localisé (US)
Bagues de couverture en nitrure d'aluminium pour équipements de semi-conducteurs | Fournisseur de céramiques à haute conductivité thermique aux États-Unis
Extrait de contenu localisé
Nous fournissons des bagues de couverture en nitrure d'aluminium haute performance à des clients à travers les États-Unis pour des applications de traitement de semi-conducteurs et de plasma. Nos bagues AlN offrent une excellente gestion thermique, une isolation électrique et une durabilité dans des environnements exigeants.
Personnalisation OEM et support d'ingénierie disponibles.
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| 品类Grade | AlN-HT170 | AlN-S170 | |
| Composition chimique% AlN | % | ≥99.5 | ≥99,5 |
| Structure chimique | |||
| 生产工艺 | Pressage à chaud | Frittage sous atmosphère | |
| Processus de production | |||
| Densité | g/cm3 | ≥3.26g/cm3 | ≥3.3g/cm3 |
| Densité | |||
| Conductivité thermique (température ambiante) | W/m.k | ≥170 | ≥170 |
| Conductivité thermique à 20℃ | |||
| Rugosité de surface | µm | ≤ 2 | ≤ 2 |
| Surface | |||
| Dureté Leeb | HL | 800 | 750 |
| Dureté | |||
| Résistance à la flexion | MPa | ≥350 | ≥350 |
| Résistance à la flexion |
