Части из алюминиевой керамики для оборудования ионной имплантации | Компоненты полупроводников высокой чистоты
Высокочистые детали из оксида алюминия для оборудования ионной имплантации. Отличная электроизоляция, термическая стабильность и стойкость к плазме для сред производства полупроводников.
керамические детали из оксида алюминия для ионной имплантации
полупроводниковые керамические компоненты
керамические детали ионного имплантатора
высокочистые алюминиевые керамические детали полупроводников
керамические компоненты для вакуумных систем
керамические детали, устойчивые к плазме
Обзор продукта
Детали из оксидной керамики для оборудования ионной имплантации — это прецизионно изготовленные компоненты, используемые в системах производства полупроводников. Изготовленные из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃), эти компоненты обеспечивают превосходную электрическую изоляцию, термическую стабильность и устойчивость к плазменным и вакуумным средам, гарантируя надежную работу в передовых полупроводниковых процессах.
Ключевые особенности
1. Высокочистый оксид алюминия (≥99%)
Минимизирует загрязнение и соответствует строгим стандартам чистоты полупроводников.
2. Отличная электроизоляция
Поддерживает стабильную работу в системах ионной имплантации с высоким напряжением.
3. Совместимость с плазмой и вакуумом
Устойчивость к воздействию плазмы и пригодность для сверхвысоковакуумных сред.
4. Термостойкость
Сохраняет стабильность размеров при колебаниях температуры.
5. Низкое образование частиц
Критически важно для поддержания выхода годных пластин и надежности процесса.
Применения
Системы ионной имплантации
Оборудование для обработки полупроводниковых пластин
Вакуумные и плазменные камеры обработки
Компоненты высоковольтной изоляции
Прецизионные инструменты для полупроводниковой промышленности
Технические преимущества
Неметаллический и немагнитный материал
Высокая диэлектрическая прочность
Устойчивость к коррозии в реактивных средах
Подходит для чистых помещений и полупроводниковых фабрик
Опции настройки
Сложные геометрии для интеграции оборудования
Высокоточная механическая обработка и жесткие допуски
Обработка поверхности для низкого образования частиц
Индивидуальные конструкции на основе требований к полупроводниковому оборудованию
Локализованный заголовок (США)
Детали из оксида алюминия для оборудования ионной имплантации | Поставщик полупроводникового оборудования из США
Локализованный фрагмент контента
Мы поставляем керамические компоненты из высокочистого оксида алюминия для систем ионной имплантации производителям полупроводников по всей территории Соединенных Штатов. Наши детали разработаны для совместимости с вакуумом, устойчивости к плазме и прецизионной работы в передовых средах обработки пластин.
Доступна инженерная поддержка и глобальная доставка.
🔹 CTA
Запросить цену на детали полупроводников
Отправьте ваш технический чертеж
Свяжитесь с нашей инженерной командой
| Тип | Единица | A‑100 | A‑200 | A‑300 | AZ‑100 |
| Материал | - | Al₂O₃ 97% | Al₂O₃ 99.5% | Al₂O₃ 99,7% | Al₂O₃‑ZrO₂ |
| Цвет | - | Белый слоновой кости | Белый | Слоновая кость | Белый |
| Плотность | г/см³ | 3.75 | 3.9 | 3.92 | 4.2 |
| Прочность на изгиб | МПа | 280 | 320 | 370 | 480 |
| Прочность на сжатие | МПа | 2250 | 2300 | 2450 | 2700 |
| Модуль упругости | GPa | 330 | 370 | 380 | 350 |
| Трещиностойкость | MPa·m^½ | 3 | 4 | 4.5 | 5.5 |
| Коэффициент Пуассона | — | 0.23 | 0.22 | 0.22 | 0.24 |
| Твердость | HRA | 90 | 91 | 91 | 91 |
| Твердость по Виккерсу | HV1 | 1450 | 1550 | 1600 | 1600 |
| Термическое расширение | 10⁻⁶K⁻¹ | 7.1 | 6.8 | 6.8 | 9.2 |
| Теплопроводность | W/m·K | 25 | 32 | 32 | 8 |
| Термический шок | ΔT·℃ | 200 | 220 | 220 | 470 |
| Максимальная рабочая температура (окисляющая) | ℃ | 1200 | 1400 | 1650 | 1000 |
| Макс. рабочая темп. (восст.) | ℃ | 1200 | 1400 | 1700 | 1000 |
| Объемное сопротивление (20℃) | Ом·см | 10¹⁴ | 10¹⁵ | 10¹⁵ | 10¹⁴ |
| Диэлектрическая прочность | кВ/мм | 16 | 20 | 22 | 16.5 |
| Диэлектрическая проницаемость (1 МГц) | - | 11.5 | 11 | 10 | 11 |
| Диэлектрические потери (tanδ) | 1МГц | 3×10⁻³ | 1×10⁻³ | 1×10⁻³ | 2×10⁻² |
